FIB-TEM

背景:

         某行业国外粉末颗粒竞品,需观察分析样品在某一反应前后颗粒微结构的变化。委托OPTON对样品进行TEM表征分析。

方案:

1、利用EBSD技术,对粉末颗粒的取向进行标定

2、对特定颗粒进行特定方向的FIB制样

3、对样品进行TEM观察

结果:

测量流程如图1所示,获得特定方向的TEM结果见下。

图1 通过EBSD寻找到方向合适的颗粒

 

图2 利用FIB将样品提取出来,制成TEM样品

 

图3 STEM测量结果

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